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淮海工学院原子层沉积系统招标公告
2017-02-18  

淮海工学院对本项目组织公开招标,现欢迎符合相关条件的合格供应商前来参与招投标活动。

1、招标项目名称及编号:原子层沉积系统;SSC2016080

2、招标项目简要说明:

1、项目清单

序号

货物名称

单位

数量

1

原子层沉积系统

1

2、技术要求:请见附件项目(货物或者服务)需求说明

3、投标人资质要求:

参加本次招标采购的供应商必须是经有关部门批准有合法经营资质、符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定独立法人。

投标企业及其法人代表和项目负责人无失信被执行行为。

4、投标产品应具有的特殊要求

接受进口产品投标;可免税;

设备配置及技术指标必须满足我院招标要求。

5、投标保证金:

参加招标采购所需交纳的投标保证金必须是人民币,必须通过投标人本公司基本帐户汇款至淮海工学院指定帐号,否则,由此给投标人造成的后果自负,本次投标保证金为人民币7000元。

6、报名办法

有意投标的单位,1、现场报名:请携带报名材料于即日起至2017年2月24日11:00前(工作时间上午8:30-11:00,下午2:30-5:00)前来报名。2、邮箱报名:采用邮箱报名的公司请将报名材料扫描发至hhitzbb@163.com,报名时间即日起至2017年2月24日11:00前。(2017年2月24日11:00为报名截止时间,2017年2月24日11:00后不再接受本项目报名)。

报名邮件标题请务必注明“xx公司报名xx项目”。

报名材料:(投标企业营业执照、企业法人授权书原件、联系人身份证明)复印件,投标人所投项目、单位名称、联系人、联系电话及邮箱打印在一张A4纸上,以上所有材料盖单位公章。

联系人:童老师 王老师 联系电话:0518-85895212

地址:淮海工学院苍梧校区文渊楼121室。

附件:

项目(货物或者服务)需求说明

一、项目清单

序号

货物名称

单位

数量

1

原子层沉积系统

1

二、技术要求(根据需要,可对相应项目清单单项增加文字、图片或彩页说明):

序号

货物名称

详细的技术指标

功能要求(参考品牌)

1

原子层沉积系统

沉积方式:PE等离子体模式沉积,同时兼容热型沉积。

基片尺寸:156 mm×156 mm方片及以下尺寸。

等离子体源:空心阳极放电模式。

射频系统:13.56 MHz全自动匹配固态射频源,0-300 W可调,匹配时间小于3S。

ALD阀门:Swagelok快速ALD专用阀门。

控制系统:工控机+触摸屏显示器。

沉积薄膜均匀性能:< ±3%。

北京沪光科仪:PEALD-156

英作纳米科技:LabNano PE

嘉兴科民电子:PEALD-200A

三、商务要求

质保期

1年。

售后技术服务要求

含安装、调试、维修、保养和人员培训(仅限于基本操作培训)。

交货时间

合同签订生效后60天内。

付款方式

见第五章合同条款

售后服务保障或维修响应时间要求

供方24小时内响应需方的维修要求,48小时内解决,如超过48小时仍不能解决,由供方在48小时内提供性能不低于故障产品的备用产品。

四、其它要求

1、 因不同投标人的设备设计原理未必完全相同,投标人可视自身情况配置设备及附件,但应能充分满足招标人的功能及参数要求。

2、投标人应保证提供满足招标人正常使用的必要配置及附件而不再需要花费任何额外的费用,即使采购方在制定招标书时要求不够具体。安装后就能正常工作。

3、在评标过程中经专家组论证,确认配置有缺陷的标书,作废标处理;因配置缺陷导致仪器功能或参数达不到招标要求的,责任由供方承担。

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